El microscopio electrónico de barrido (conocido por el acrónimo SEM, Scanning Electron Microscopy), es un equipo de observación y análisis que para formar la imagen utiliza un haz de electrones acelerados en vez de luz visible. La microscopía óptica tiene una fuerte limitación de aumentos y resolución debido a la longitud de onda de la luz y de las características del ojo humano. La onda asociada a un haz de electrones tiene una longitud muy pequeña y por lo tanto, la imagen formada por ésta puede tener una enorme resolución: esta es la base de la microscopía electrónica, que en lugar de luz usa un haz de electrones y en lugar de lentes de vidrio, lentes consistentes en campos magnéticos que desvían los electrones.
Las imágenes obtenidas con esta técnica tienen una gran profundidad de campo, la cual permite que se pueda enfocar simultáneamente una gran parte de la muestra aunque no esté en el mismo plano, y produce imágenes de alta resolución, lo que significa que características muy pequeñas pueden ser examinadas con un alto grado de resolución. Adicionalmente, el impacto del haz de electrones sobre la muestra da lugar a diversos fenómenos físicos, los resultados de los cuales pueden ser recogidos y analizados, de forma que es posible obtener información química de la muestra o de parte de ésta, distribución de los elementos que la forman, la emisión de catodoluminiscencia, a veces, aporta información relevante… En definitiva, los detectores de electrones secundarios, retrodispersados y de rayos X acoplados al SEM permiten ver la topografía y morfología del material, al tiempo que obtener la composición química de las diferentes zonas observadas.
La preparación de las muestras es relativamente fácil ya que en la mayoría de los casos sólo se necesita que sean conductoras. Por eso la muestra se recubre con una capa muy delgada de metal o de carbono, y es rastreada o barrido con electrones que se envían desde un cañón. Un detector mide la cantidad de electrones que emergen de la zona de la muestra y es capaz de presentar el resultado en forma de imágenes, proyectadas en una pantalla. Su resolución es entre 3 y 20 nanómetros, en función del microscopio y de las condiciones de observación.